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来源PANews

国产浸没式DUV光刻机开始小批量生产,今年首批量产5台

PANews 7月27日消息,据The Information报道,上海一家国资背景公司已开始小批量生产国产浸没式DUV光刻机,今年计划出货约5台,2027年增至约20台。首批设备将交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技,晶圆厂需验证精度、稳定性及与现有产线的衔接,流程或持续数月甚至更久。报道称,该设备多数部件已国产化,但部分关键零部件仍依赖日本,整体性能和制造质量仍落后ASML,而ASML在2025年单年交付的浸没式DUV光刻机约为131台,国产设备距离大规模替代仍有差距。
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